复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备中标结果
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备中标结果
（编号：QWQTJY*****）复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目中标公告
一、项目编号：QWQTJY*****（NBITC-*********G）
二、项目名称：复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目
三、中标（成交）信息
1.中标结果：
| 序号 | 中标（成交）金额(元) | 中标供应商名称 | 中标供应商地址 |
|---|---|---|---|
| 1 | 投标报价：*******（元） | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |
| 2 | 投标报价：*******（元） | 江苏鲁汶仪器股份有限公司 | 江苏省邳州市经济开发区辽河西路8号 |
| 3 | 投标报价：******（元） | 山东聚智半导体科技有限公司 | 山东省潍坊市青州市开发区荣利街1789号 |
| 4 | 投标报价：******（元） | 北京中电科电子装备有限公司 | 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号1号楼310室 |
| 6 | 投标报价：******（元） | 无锡卓海科技股份有限公司 | 江苏省无锡市新吴区珠江路97号 |
| 7 | 投标报价：******（元） | 浙江蓝箭仪器有限公司 | 浙江省衢州市柯城区航埠镇育尚路68号12幢501室 |
| 8 | 投标报价：********（元） | 上海芯立电子科技有限公司 | 上海市浦东新区宣春路182号7幢一层 |
| 9 | 投标报价：*******（元） | 山东聚智半导体科技有限公司 | 山东省潍坊市青州市开发区荣利街1789号 |
2.废标结果:
| 序号 | 标项名称 | 废标理由 | 其他事项 |
| 5 | 尾气处理Scrubber等仪器设备 | 标项5投标供应商数量不符合要求,系统自动废标 | |
四、主要标的信息
货物类主要标的信息：
| 序号 | 标项名称 | 标的名称 | 品牌 | 数量 | 单价(元) | 规格型号 |
| 1 | SiC刻蚀 | SiC 刻蚀 | 北京NAURA | 1台 | ******* | GDE C200 |
| 2 | 干法铝刻蚀 | 干法铝刻蚀 | 江苏徐州鲁汶仪器 | 1台 | ******* | Heverlee? Pishow? M |
| 3 | 聚酰亚胺烘烤 | 聚酰亚胺烘烤 | 山东聚智 | 1台 | ****** | JZ-100 |
| 4 | 揭膜机等仪器设备 | 揭膜机 | 北京中电科 | 1台 | ***** | MDT-10J |
| 5 | 揭膜机等仪器设备 | 贴膜机（减薄前） | 北京中电科 | 1台 | ****** | STM-100 |
| 6 | 揭膜机等仪器设备 | 贴膜机（划片保护） | 北京中电科 | 1台 | ****** | SWM-100 |
| 7 | 电阻率测试仪 | 电阻率测试仪 | 无锡卓海 | 1台 | ****** | ZH-PR8 |
| 8 | 应力检测设备 | 应力检测设备 | 深圳速普 | 1台 | ****** | FST5000 |
| 9 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀 | 美国 LAM | 2台 | ******* | Lam Rainbow4520 |
| 10 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 干法去胶机 | 美国 Gasonics | 2台 | ****** | A1000 |
| 11 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 金属溅射 | 美国 MRC | 1台 | ******* | Eclipse Mark IV |
| 12 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 光学膜厚量测 | 美国 Nanometrics | 2台 | ****** | NANOSPEC6100 |
| 13 | 金相显微镜 | 金相显微镜 | 日本尼康 | 8台 | ****** | optiphot |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
陈大果，施立钦，林型晓（采购人代表），王旭，罗锋，潘志崇，曹玲娟（采购人代表）
六、代理服务收费标准及金额：
1.代理服务收费标准：按招标文件收费标准
2.代理服务收费金额（元）：******
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其他补充事宜
具体服务要求详见招标文件
九、对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
名称：复旦大学宁波研究院
地址：宁波前湾新区滨海二路901号金融广场C1栋
传真：/
项目联系人（询问）：高老师
项目联系方式（询问）：0574-********
质疑联系人：陈老师
质疑联系方式：0574-*******6
2.采购代理机构信息
名称：宁波市国际招标有限公司
地址：宁波市江北区环城北路西段207弄19号世茂茂悦商业中心1号楼七、八楼
传真：/
项目联系人（询问）：陈洁、邓牟雪
项目联系方式（询问）：0574-87307605
质疑联系人：姜春辉
质疑联系方式：0574-87198579
3.同级政府采购监督管理部门
名称：宁波前湾新区经济和信息化局
地址：宁波前湾新区兴慈一路1号
传真：/
联系人：杨老师
监督投诉电话：0574-89280280
标签: SiC刻蚀
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