材料刻蚀过程的高含水强腐蚀尾气专用干湿分离模块成交结果公告
材料刻蚀过程的高含水强腐蚀尾气专用干湿分离模块成交结果公告
| 项目名称 | 材料刻蚀过程的高含水强腐蚀尾气专用干湿分离模块 | 项目编号 | JJ******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 170*****16000 | 公告截止日期 | 170*****00000 |
| 采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | 无 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后3个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 东北大学和平区文化路3巷 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 材料刻蚀过程的高含水强腐蚀尾气专用干湿分离模块 | 1 | 套 | 其他石油和化学工业专用设备 |
| 品牌 | SSV |
|---|---|
| 型号 | SSV-MS-2 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 对强腐蚀气体内部的水汽进行实时干燥处理并有耐腐蚀要求，为半导体行业真空腔室专用模块。①通入腐蚀气体：HF、HCL、HBr、O2干、N2、Ar等干气(纯度99.999%)和纯净水湿气，每路气体都可独立进入模块，湿度调节范围：0-100%；②316L不锈钢手动和气动角阀、波纹管；③专用分子筛过滤器和上位机控制节点；④拆卸更换方便；⑤漏率<5x10-11 Pa.m3/S；⑥整体密封与外大气隔绝处理以防毒气泄露；⑦总占地空间：不大于750mmx600mmx650mm 长宽高；⑧安全措施和培训并负责后续技术支持。 |
| 售后服务 | 无 |
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