一、合同编号： 清[设备]审*********

二、合同名称： 硅深刻蚀系统

三、项目编号： 400*****417031*****732

四、项目名称： 清华大学硅深刻蚀系统

五、合同主体

采购人（甲方）： 清华大学

地 址： 北京市海淀区清华大学

联系方式：010-********

供应商（乙方）：北京北方华创微电子装备有限公司

地 址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

联系方式：010-********

六、合同主要信息

主要标的名称：硅深刻蚀系统

规格型号（或服务要求）：HSE M200、GDE C200L

主要标的数量：1

主要标的单价：*******.00

合同金额： 960.******万元

履约期限、地点等简要信息：交付时间：合同签订后240日内。交货地点：清华大学用户指定地点。

采购方式： 公开招标

七、合同签订日期： 2024-03-11

八、合同公告日期： 2024-03-12

九、其他补充事宜：

本合同对应的中标成交公告：

• 清华大学硅深刻蚀系统采购项目中标公告

• 清华大学硅深刻蚀系统采购项目公告合同.pdf
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