采购项目：高真空磁控溅射仪

采购方式：询价

推荐成交供应商：上海众濒科技有限公司

采购内容：高真空磁控溅射仪1套

成交价格：******.00元

项目联系人：顾震

评审日期：2024年3月26日

主要技术参数、技术要求或施工内容：

1. 外形尺寸：424(L)×345(D)×420(H)

2. 输?电源：220V/50Hz, 1000W

3. 溅射靶头1：直流磁控溅射，可用靶材：金属靶材

4. 溅射靶头2：射频磁控溅射，可用靶材：无机非金属靶材

5. 真空系统：涡轮分子泵+旋片式真空泵

6. 抽速：90L/s+1.1L/s

7. 真空测量;复合式真空规

8. 量程范围:1E-3~1E5Pa

9. 真空室:φ200×130mm高硼硅玻璃

10. 抽气节拍：10分钟（≤5E-3Pa)

11. 样品台尺寸：90mm

12. 样品台切换：自动控制

13. 溅射靶材尺寸：φ57mm(厚度0.1-2mm)

14. 工作真空：0.1-2Pa

15. 膜厚控制模块：可实现圆柱面旋转镀膜。

16. 具备加热模块：可实现镀膜时衬底加热，温度最高200℃。

17. 具备膜厚控制模块：在不使用样品台旋转和平台加热的情况下可实现纳米级膜厚控制。

18. 操作界面：7英?TFT触摸式液晶屏

19. 操作语言：中文（可选其它语言）

20. 冷水机功率：180W

售后及质保：

产品都属于厂家原装合格产品：卖方保证所提供的货物是全新的、未使用过的原装合格产品且是最新产品，并完全符合合同规定的质量、规格和性能要求。

设备质保期为自项目验收合格之日起两年，质保期内：

1. 提供免费上门维护服务，并承担由此产生的一切费用。

2. 质保期内因用户不正常使用造成的仪器损坏，维修只收取成本费。

3. 故障响应时间： 接到故障通知后4小时内响应。如有上门必要，工程师将在三个工作日上门维护。

质保期后：

1. 提供技术支持和设备维护，维修只收取材料成本费和人工成本费。

2. 出现技术、质量故障，提供24小时技术支持服务。

公示期2024年03月27日-2024年03月29日;

如对采购评审结果有异议，请于2024年03月29日16:00时前以书面形式向华东理工大学信息科学与工程学院采购工作管理小组（联系人：仲老师，联系电话：021-********，地址：华东理工大学实验十九楼104室）提出异议，公示期满无质疑，不再另行公告评审结果。

华东理工大学信息学院采购工作管理小组

日期：2024年03月27日