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清华大学扫描步进式光刻机采购项目单一来源采购公示
一、采购人：清华大学
二、地址：北京市海淀区清华园
三、联系方式：王琦 sbcwq@tsinghua.edu.cn
四、项目名称：扫描步进式光刻机采购项目
项目编号：清采招第 20240001 号
五、采购内容：扫描步进式光刻机
六、采用单一来源采购方式原因及说明
该设备主要用于微纳米级精细图形的光刻，是新工艺开发的关键设备之一。经过
市场调研，目前仅有佳能株式会社的 FPA-6300ES6a 设备能够满足分辨率≤130nm、层
间套刻精度≤35nm、晶圆尺寸 8 英寸、光强均匀性≤±1.5%和自动对焦精度 3σ≤45nm
关键指标,故采用单一来源的方式采购。
七、主要配置及技术参数要求：
1.设备为全新设备，不接受翻新设备；
2.KrF 激光器，光源波长 248nm；
3.光强≥62000 W/m2；
4.光强均匀性≤±1.5%；
5.分辨率≤130 nm；
6. 光强均匀性≤±1.5%；
7.层间套刻精度≤35nm；
8.晶圆尺寸：8 英寸；
9.自动对焦精度（Focus accuracy）：3σ≤45 nm；
八、制造商：佳能株式会社 CANON INC.
制造商地址：东京都大田区下丸子 3-30-2 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku,
Tokyo 146-8501, Japan
九、征求意见期限从 2024 年 4 月 17 日至 2024 年 4 月 23 日止。
十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后 1 个工作日内将书面意见(包
括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华
大学(联系人：王琦 62771946，邮箱：sbcwq@tsinghua.edu.cn)。