激光光谱研究所磁控溅射仪采购结果公告
激光光谱研究所磁控溅射仪采购结果公告
成交供应商: | 武汉普迪真空科技有限公司 |
选择理由: | 总价最低,推荐成交 |
质疑投诉说明: | 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至国有资产与实验室管理处采购管理科,逾期不予受理。 |
项目名称 | 激光光谱研究所磁控溅射仪采购 | 项目编号 | CG******** | ||
项目编号 | CG******** | ||||
公告发布日期 | 2024/05/06 17:07 | 报价截止时间 | 2024/05/10 17:07 | ||
报价截止时间 | 2024/05/10 17:07 | ||||
采购单位 | 山西大学 | 付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 | ||
付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 | ||||
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||||
是否本地化服务 | 是 | 是否需要踏勘 | 否 | ||
是否需要踏勘 | 否 | ||||
踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||||
踏勘联系电话 | |||||
踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||||
踏勘联系时间 | |||||
采购预算 | ¥295,000.00 | 成交金额 | ¥280,000.00 | ||
成交金额 | ¥280,000.00 | ||||
送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起100日内 | ||||
送货/施工/服务地址 | 太原市坞城路92号 山西大学 | ||||
付款条款 | 货到验收合格后一次性支付全款 | ||||
其他说明 | 1、货物服务类竞价项目,进口产品收取成交金额3%的履约保证金,国产收取成交金额5%的履约保证金,特殊情况另行约定。 |
采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | 分项报价 | |
磁控溅射镀膜系统 | 否 | 套 | 1 | 1. 产品免费质保期为 3 年(整机)。 2. 质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外)。 3. 质保期内由于设备本身原因而引起的零配件(易损件除外)的更换,其费用由供方承担。 4. 建立客户设备信息档案,随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行。 5. 在接到需方要求供方进行技术支持的正式通知(含电话或邮件通知)后,供方技术人员于 12 小时内,赶到技术服务现场。 6. 对于质保期以外设备的维护,供方只收取成本费。 7. 所有配件、备件质保期外,供方长期按成本价及时提供。 8. 供方派技术工程师对需方人员进行技术培训。使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理,达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的。 9. 供方应提供详细的培训课程讲义及培训。 10. 安装验收完毕后对需方 不少于 2 人进行培训,内容包括:实验方法原理、实验操作、拟合软件的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容。 11. 培训费用:所发生的培训费用由供方承担。 | ¥280,000.00 | |
参考品牌及型号 | 武汉普迪真空 | |||||
技术参数要求 | 1. 极限真空:优于5×10-5Pa(经烘烤除气后); 2. 抽速测试:从大气抽到工作真空(8×10-4Pa)时间少于30分钟; 3. 系统漏率:≤2x10-7Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考核); 4. 系统保压:系统抽至高真空后停泵关机保压12小时后真空度小于10Pa; 5. 基片加热:样品台最高加热温度500℃; 6. 溅射尺寸:衬底基片最大4英寸; 7. 样品台:基片可旋转,可调速; 8. 成膜质量:托盘4英寸范围内均匀性优于±5%; 9. 溅射靶:3个3英寸圆形靶枪,角度可调,其中1支为强磁靶; 10. 溅射电源:2台直流电源,1台射频电源; 11. 工艺气体:4路工艺气体,配备进口薄膜真空计; 12. 膜厚仪:进口石英晶振膜厚控制仪,带 1套水冷探头; |
标签: 磁控溅射仪
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