8英寸MEMS晶圆生产线之氧化硅、氮化硅刻蚀机评标结果公示公告1
8英寸MEMS晶圆生产线之氧化硅、氮化硅刻蚀机评标结果公示公告1
【中国国际招标网】
项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之氧化硅、氮化硅刻蚀机
招标项目编号：0709-244*****4007
招标范围：设备名称：氧化硅、氮化硅刻蚀机设备数量：3台设备用途：氧化硅、氮化硅刻蚀机主要用于对8英寸MEMS工艺中氮化硅、氧化硅薄膜的刻蚀加工。
招标机构：中国仪器进出口集团有限公司
招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间：2024-04-25 09:30
公示开始时间：2024-05-14 13:58
评标公示截止时间：2024-05-15 14:00
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合肥英仕博精密装备有限公司 | 合肥英仕博精密装备有限公司 | 中国 |
| 2 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 中国 |
| 3 | Tokyo Electron Limited | Tokyo Electron Limited | 日本 |
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