安徽省8英寸MEMS晶圆生产线之多晶硅、硅刻蚀机中标结果公告1包
安徽省8英寸MEMS晶圆生产线之多晶硅、硅刻蚀机中标结果公告1包
项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之多晶硅、硅刻蚀机
项目编号:0709-244*****4012
招标范围:设备名称:多晶硅、硅刻蚀机设备数量:1台设备用途:本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中单晶硅浅腔、多晶硅薄膜的刻蚀加工。
招标机构:中国仪器进出口集团有限公司
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间:2024-04-25 09:30
公示时间:2024-05-15 15:50 - 2024-05-16 14:00
中标结果公告时间:2024-05-20 10:16
中标人:北京北方华创微电子装备有限公司
制造商:北京北方华创微电子装备有限公司
制造商国家或地区:中国
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