8英寸MEMS晶圆生产线之氧化硅、氮化硅刻蚀机中标结果公告1

招 标 正 文
 

8英寸MEMS晶圆生产线之氧化硅、氮化硅刻蚀机中标结果公告1

项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之氧化硅、氮化硅刻蚀机
项目编号：0709-244*****4007
招标范围：设备名称：氧化硅、氮化硅刻蚀机 设备数量：3台 设备用途：氧化硅、氮化硅刻蚀机主要用于对8英寸MEMS工艺中氮化硅、氧化硅薄膜的刻蚀加工。
招标机构：中国仪器进出口集团有限公司
招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间：2024-04-25 09:30
公示时间：2024-05-14 13:58 - 2024-05-15 14:00
中标结果公告时间：2024-05-20 11:24
中标人：合肥英仕博精密装备有限公司
制造商：合肥英仕博精密装备有限公司
制造商国家或地区：中国
,安徽,合肥

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: EMS 氮化硅 生产线

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中国仪器进出口集团有限公司

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