是否接受进口

拒绝进口

品牌

麦韦光学

型号

OETD 300

生产厂商

武汉麦韦光学科技有限公司

产地信息

武汉

技术规格及参数

一、真空系统
1.1、机 械 泵 +脂 润滑 分 子 泵 ，极 限 真 空 ：优 于 8*10-5 Pa；
1.2 、工作真空5*10-1Pa
1.3 、抽真空时间少于25 min
1.4 、真空极限优于8*10-5Pa；
1.5、 5 5 2 7 B 复合 真 空计；
二、真空镀膜室
2.1 、304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：300*260*H260mm；
2.2 、电机驱动旋转速度0-20转/分钟可调，配挡板
2.3 、均匀性指标：75 mm 直径范围内不均匀性±5%
2.4 、承载最大直径100 mm基片，基 片 台 磁 流体 密 封 ， 电 机 驱动 基 片 台 旋 转 ， 旋 转 速 度 0-20 转 /分 钟 可 调 ；配 挡 板。
三、磁控溅射源及电源
3.1、 2英寸磁控溅射靶2支，直流 溅 射 电 源 1 套 ；切换溅射；
3.2、 直流溅射电源1套，功率500 W
3.3、 验收用靶材，铝，钛各一块
3.4 、西门子 PLC+触摸屏
四、电气控制系统
4.1固定流量控制 1 组氩气一路，流量计100 sccm
五、设备配电及尺寸
5.1、电 压 ：AC220V/50HZ 功 率 ： 约 5KW;
5.2、设备尺寸：长 × 宽 × 高 :500*500*650mm ;
配置清单：
1、小型镀膜机1台
2、加热样品台1套
3、射频电源1台
4、水冷机1台
5、真空计1套
6、电气控制系统1套
7、真空计1套

质保期

1、所有硬件一年免费保修、所有软件终身免费保修升级。
2、所有硬件过一年免费保修期后按原价维修（按投标货物价格数量表所列价格，更换零部件的按合同签订时的零部件价格，响应速度同保修期响应速度。质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）。
3、质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由供应商承担。
对于质保期以外设备的维护，供应商只收取成本费。
4、所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。
5、不管保修期内还是保修期外，设备出现故障，首要问题是尽快解决故障，
不影响客户使用。我们将提供最快速的售后服务。我们承诺接到问题 1 小时内给
出初步处理意见，一般情况下 1 个工作日之内解决。如果 1 个工作日之内不能解
决，我们将提供备用部件（如电源、机械泵等）给用户使用，用户将故障部件发
回我们公司，我们维修之后发回客户。如果无法通过提供备用部件解决问题的，
我们工程师在 8 小时内赴用户现场解决问题。
设备预验收：设备交货前进行预验收，不多于 3 人，为期 5 个工作日，包括设备
预验收及培训；
设备现场验收：设备到达甲方现场后，乙方派工程师现场安装调试直至验收合格，
安装调试时间在两周之内。安装调试期间进行现场培训。

售后要求

质保期内提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，24小时内响应，指导客户维护，如确需上门服务，72小时内派员上门现场维护，并在5天内提供解决方案，如在规定时间内不能解决设备故障，提供相同档次、功能的设备给招标人代用。我司武汉仓对常用零配件按照1:4备份，能做到技术上门的同时零配件预备，和顺丰速递签订VIP客户服务协议，保证时效送达。对于非人为原因且隶属于紧急工程的，我司启动总部实验室制度，为客户提供免费的应急实验服务