光掩模KrF光源缺陷模拟仿真设备评标结果公示公告1/01
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候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
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1 | 卡尔蔡司(上海)管理有限公司 | Carl Zeiss SMT GmbH | 德国 |
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