等离子体增强化学气相沉积系统中标结果
等离子体增强化学气相沉积系统中标结果
| 项目编号 | BA********* | 项目名称 | 等离子体增强化学气相沉积系统 |
|---|---|---|---|
| 经办人单位 | 物理学院 | 经办人 | 王鹏 |
| 预算金额 | ******.00 人民币 | 成交金额 | ******.00 人民币 |
| 成交供应商 | 长春市海涵仪器有限公司 | 质保期 | 12 月 |
| 联系地址 | 吉林省-长春市-二道区远达大街826号红星国际广场4栋1208室 | 采购单位 | 吉林大学超硬材料国家重点实验室 |
| 付款方式 | 设备安装调试验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
| 供应商联系手机 | 135*****310 | 交货时间 | 成交单签订后30天内交货 |
| 交货地址 | 吉林省-长春市-前进大街2699号 吉林大学 超硬实验综合楼 | ||
| 交货方式 | 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 | ||
| 包装及运费 | 由乙方免费提供及承担 | ||
| 验收方式 | 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
| 售后服务要求 | 服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：1小时 人员到达现场时间：2小时 排除故障时间：48小时 培训方案： 培训次数：1次 培训人员数量：5人 培训地点：吉林大学 费用：免费 | ||
| 采购材料 | 自主采购评审表-1.pdf | ||
| 采购品目 | 工业电热设备（电炉） | 品牌名称 | 合肥科晶 |
|---|---|---|---|
| 名称 | 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统 | 产地及生产商 | 中国-合肥科晶材料技术有限公司 |
| 规格型号 | OTF-1200X-II-50-PE | 数量 | 1 |
| 计量单位 | 套 | 保修年限 | 1 年 |
| 单价 | ******.00 人民币 | 总价 | ******.00 人民币 |
| 主要技术参数 | 主要配置包括：双温区管式炉，真空系统，供气系统，射频电源，手套箱 1. 双温区管式炉 1.1最高温度: 1200℃ 工作温度: 1100℃ 1.2 PID控制和自整定调节功能智能化30段可编程控制 1.3双层壳体结构并带有风冷系统 1.4总温区长度：400 mm 2. 真空系统 2.1真空度：≥ 10-3 torr 2.2抽气速率：3L/s 2.3漏气率≤ 5x10-9 Pam3/s 3. 供气系统 3.1质量流量控制器精度：± 1.5 % FS 3.2流量范围:一路 0-100 sccm，二路 0-200 sccm，三路及四路 0-500 sccm 4. 射频电源 4.1功率输出范围：0-500 W 4.2射频频率：13.56 MHz 5. 手套箱 5.1箱体：SUS304 不锈钢，厚度 3mm 5.2主箱体尺寸：600 x 450 x 420 mm 5.3过度仓尺寸：直径210 x 长260 mm | ||
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