广东省光掩模ArF光源缺陷模拟仿真设备中标结果公告1/02包
广东省光掩模ArF光源缺陷模拟仿真设备中标结果公告1/02包
项目名称：光掩模ArF光源缺陷模拟仿真设备
项目编号：0705-244*****3126/02
招标范围：光掩ArF光源缺陷模拟仿真设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：广州新锐光掩模科技有限公司
开标时间：2024-05-28 09:30
公示时间：2024-05-28 15:51 - 2024-05-31 23:59
中标结果公告时间：2024-06-03 08:58
中标人：卡尔蔡司（上海）管理有限公司
制造商：Carl Zeiss SMT GmbH
制造商国家或地区：德国
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