8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台重新招标中标结果公告1
8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台重新招标中标结果公告1
【中国国际招标网】
项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台（重新招标））
招标项目编号：0709-244*****4017
招标范围：设备名称：蒸发台 设备数量：3台 设备用途：通过真空泵组排气，在具有加热除气功能且密闭性良好的腔室中建立高真空环境。当腔室内部达到本底真空后，利用电子束蒸发Ti、Pt、Au、Cr、Ta等材料，使其均匀沉积在晶圆表面，以获取相应制备材料的金属薄膜。
招标机构：中国仪器进出口集团有限公司
招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间：2024-05-31 09:30
公示时间：-
中标结果公告时间：2024-06-18 10:26
中标人：无锡盈时电子科技有限公司
制造商：爱发科真空技术
制造商国家或地区：中国
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