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项目名称：北京怀柔实验室实验平台建设2024年第一批国际设备采购项目

招标项目编号：1495-244thhrlab01/01

招标范围：系统主机 配置4个前驱体通道，反应器可进行1mL 至 200mL 的单批量粉末样品处理。并同时满足平面样品的加工需要，包括但不限于硅片，薄膜等。主机包含基本的：电源控制模块、隔离腔、隔离腔支架、低蒸汽压前驱体源储存室。该系统内所有模块由主机集中供电。 粉末腔门配备观察窗，可在系统启动后，在前驱体注入的过程中实时通过玻璃观察窗实时观察粉末类样品的运动状态。通过观察窗可以了解设定的参数是否符合要求。 必须集成在设备中，不额外占用地面空间（即臭氧发生器需在设备内部或外壁，不能位于地面），使用噪音小于60分贝。

招标机构：天恒招标有限公司

招标人：北京怀柔实验室

开标时间：2024-06-07 09:30

公示时间：2024-06-12 14:57 - 2024-06-17 23:59

中标结果公告时间：2024-06-18 19:34

中标人：飞纳科学仪器有限公司

制造商：Forge Nano Inc.

制造商国家或地区：美国