8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机重新招标中标结果公告1
8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机重新招标中标结果公告1
【中国国际招标网】
项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之金属溅射机（重新招标）
招标项目编号：0709-244*****4019
招标范围：设备名称：金属溅射机 设备数量：3台 设备用途： 该设备可用于硅平面或金属平面溅射Al、AlSiCu、Ti、TiN、Cr、TiW、Au、W、WN、Ta、TaN等金属薄膜磁控溅射工艺，具备金属成膜能力。
招标机构：中国仪器进出口集团有限公司
招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间：2024-05-31 09:30
公示时间：-
中标结果公告时间：2024-06-20 09:42
中标人：合肥英仕博精密装备有限公司
制造商：合肥英仕博精密装备有限公司
制造商国家或地区：中国
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