电感耦合等离子体化学气相沉积机械泵维修竞价结果
电感耦合等离子体化学气相沉积机械泵维修竞价结果
| 申购单主题： | 电感耦合等离子体化学气相沉积机械泵维修 | 申购单位： | 电子与信息工程学院（微电子学院） | 申购人： | 刘林 |
| 报价类型： | 国内含税价 | 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2024-06-28 10:10:13 |
| 申购备注： |
| 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 数量 | 售后服务 | ||
| 电感耦合等离子体化学气相沉积系统机械泵维修 | Adixen | ACP15G | 1 | |||
| 规格 | ||||||
全面拆解，超声波全面清洗并烘千更换原装马达轴承及腔室轴承等大维修包更换原装标准 Seal tips 包马达线圈阻抗测量,排气阀，防倒吸阀测量及清理测量工作电压及电流、温度及噪音 | ||||||
| 中标供应商 | 单价（元） | 初选理由 |
| 中山共享光电真空技术有限公司设备服务第一分公司 | *****.0 |
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