等离子体清洗机网上比选采购评审结果公示
等离子体清洗机网上比选采购评审结果公示
| 项目名称 | 等离子体清洗机 | 项目编号 | 招设2024C***** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 171*****11000 | 公告截止日期 | 172*****00000 |
| 采购单位 | 上海交通大学 | 付款方式 | 100%L/C，90%即期，10%验收合格后支付 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签订合同后3个月内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | CIP上海交通大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 等离子体清洗机 | 1 | 台 | 金属表面处理设备 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.可容纳最大样品尺寸不小于200mm*200mm的方形或8英寸的标准晶圆。2.RF电源13.13.56MHz / 20-300W 可调。3.处理后整片不均匀性小于5%。4.运行操作压力5 mtorr以内。5.配备可选择的工艺菜单。6.配备液晶显示屏。 |
| 售后服务 | 无 |
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