旋涂机自购结果公示
旋涂机自购结果公示
供应商: | 山东信远贸易有限公司 |
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中标金额: | ***** |
公示开始日期 | 2024-08-02 | 公示截止日期 | 2024-08-03 17:51:08 |
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采购单位 | 化学与化工学院 | 付款方式 | 货到验收合格后15个工作日付款 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
收货地址 | 山东大学 |
采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
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旋涂机 | 1 | 台 |
品牌 | 中科院微电子研究所 | 规格型号 | KW - 4T |
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技术参数 | 型号 KW - 4T 转速 250-9000 RPM, 各阶段速度可任意调节 转速稳定性 1RPM 旋涂均匀性(一致性) <1%(片内); <1%(片间) 基片尺寸 Φ5-Φ100mm 圆片, 最大 100mm×100mm 方片 显示/程序控制 全触摸屏操作,快速启动,人性化界面,适合专业用户的需求 工艺阶段 6 步工艺调速设计,最大单步旋涂时间:1800S,可根据客户需求增加 整机尺寸(mm 3) 210mm×280mm×248mm 适应材料/工艺支持 适合硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs, GaN, InP 等各种材料及工艺服务 特殊夹具定制 20 年特殊夹具设计经验,完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品 电机功率 40W 真空泵抽气速率 >60L/min | ||
售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后4小时; |
资产与实验室管理部
2024-08-02
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