聚合物反应离子刻蚀机网上比选采购评审结果公示
聚合物反应离子刻蚀机网上比选采购评审结果公示
| 项目名称 | 聚合物反应离子刻蚀机 | 项目编号 | 招设2024C***** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 172*****81000 | 公告截止日期 | 172*****00000 |
| 采购单位 | 上海交通大学 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签订合同后3个月内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 上海交通大学指定地点 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 聚合物反应离子刻蚀机 | 1 | 台 | 金属焊接设备 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | *2.1？反应室数量：单室*2.2？极限真空：？2.0×10-4Pa（环境湿度≤55%）2.3？刻蚀材料:？？？Poly-Si、Si、碳类等2.4？刻蚀速率：？？0.01？~？1μ/min2.5？刻蚀非均匀性:？≤±5％（均匀性≤φ150mm）2.6？反应室规格:？φ300′110mm2.7？电极尺寸:？？？φ200mm2.8？样品尺寸：？？φ6寸单片（向下兼容） |
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x8小时;服务年限:五年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
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