关于电子束曝光EBL设备用主动隔振平台采购项目遴选结果公告

关于电子束曝光EBL设备用主动隔振平台采购项目遴选结果公告

2024-09-10

广东省科学院半导体研究所就电子束曝光(EBL)设备用主动隔振平台采购项目(项目编号:BDTCG**********)进行公开遴选,于2024年9月6日在所内会议室对供应商进行了比选评定,按照遴选公告中的遴选条件及项目要求,经过评审小组的评定,现将结果公示如下:

一、 中标(成交)信息

供应商名称:南京佰立捷试验设备有限公司

中标(成交)金额:******

二、 主要标的信息

货物类

序号

货物名称

品牌

规格型号

数量

单价

1

主动隔振平台

明立精机株式会社/日本

MRZ-200/振动隔离方式:空气弹簧式主动隔振

1套

******

三、 公告期限

自本公告发布之日起1个工作日

四、 其它

凡对本次公告内容提出异议的,请按以下方式联系。

联系人:黄工

联系电话:020-********转8023

联系地址:广州市天河区长兴路363号

广东省科学院半导体研究所

广州市国科招标代理有限公司

2024年9月10日

标签: 电子束

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