离子溅射仪号成交结果公告
离子溅射仪号成交结果公告
项目名称 | 离子溅射仪 | 项目编号 | SCUT-HW-JJ********号 |
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公告开始日期 | 172*****56000 | 公告截止日期 | 172*****00000 |
采购单位 | 华南理工大学招标中心 | 付款方式 | 预付 30%,剩余部分验收合格后 30 天内一次性付清,每次付款前应由乙方提供等额发票; |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后15工作日 | 到货时间要求 | 签约后60工作日 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 广州市天河区五山路381号华南理工大学五山校区 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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离子溅射仪 | 1 | 台 | 样品前处理及制备仪器 |
品牌 | 深圳速普仪器 |
---|---|
型号 | ISC150T |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 1.磁控溅射常温喷金; 2.触摸式液晶显示屏; 3.可设定:工作气压,溅射功率,溅射时长,进气流量等参数; 4.可显示:实时真空度,设备运行时间,溅射时间,溅射功率,泵组运转实时温度,实时进气流量等参数; 5.溅射电源:恒功率磁控 DC 溅射电源 1~30W可调,最小步长1W; 6.溅射时长:1~600s连续可调,最小步长1s; 7.真空腔室:采用耐热玻璃腔体,尺寸φ150*120mm,并配套自动旋转偏转样品台; 8.真空泵组:无油干泵+分子泵组; 9.泵组抽速:>0.7m3/h隔膜泵+60L/S分子泵; 10.极限真空:<10E-3 Pa; 11.工作气压:0.5-2 Pa; 12.抽真空时间:<5 min; 13.真空规:皮拉尼真空计,测量范围大气压到10E-3 Pa; 14.气体控制:MFC气体质量流量控制器(50 SCCM Ar); 15.磁控溅射源:带手动挡板,支持溅射贵金属Au/Pt等,也可溅射Cr、Ag、W等常规金属(通Ar气),同样支持喷C; 16.功耗:<500 W; 17.冷却方式:风冷 |
售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
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