高真空金属蒸发镀膜机成交结果公告
高真空金属蒸发镀膜机成交结果公告
| 项目名称 | 高真空金属蒸发镀膜机 | 项目编号 | XF-WSBX-******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 172*****15000 | 公告截止日期 | 172*****00000 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后5个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后50个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 浙江大学紫金港校区 海纳苑5幢 C411 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空金属蒸发镀膜机 | 1 | 台 | 其他电工、电子生产设备 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | ZHDS400 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 真空腔室：镀膜室尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304优质不锈钢真空腔室；方箱式；前门水平滑开式，可便于在手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封安全可靠。 2. 真空系统：脂润滑分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计； 3. 真空极限：5.0×10-5Pa（设备和手套箱分体，设备空载，抽真空24小时）； 4. 升压率：设备升压率：≤0.8Pa/h（12小时平均值）；设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa； 5. 抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min（不带手套箱，设备空载）；从大气抽至8.0×10-4Pa≤10 min（设备空载，干燥氮气环境）； 6. 基片台: ①基片台尺寸120×120mm，最大样品尺寸小于120×120mm；配有基片台挡板； ②旋转转速0～20转/分钟，可调可控； ③升降基片台可调节范围70mm，蒸发源与基片距离约260-330mm； ④基片台间接水冷（水冷样品台可承受零下15°液冷循环） 7. 膜厚不均匀性：110mmx 110mm范围内厚度偏差 ≤5%。（金属源用Cu标定，台阶仪测试厚度≥100nm；有机源根据实验要求由客户提供材料，如：C60、BCP、PbI？、CsBr等）片内不均匀性计算公式：（最大值-最小值）/（最大值+最小值）×100% 8. 蒸发源及电源：①金属蒸发源：水冷铜电极4组；②金属蒸发电源：日本TDK：GEN6-200（1台电源可切换供多台电极分时蒸镀）； 9. 控制方式：PLC+触摸屏控制，可实现自动一键式抽真空，蒸发镀膜电源采用自动控制，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索； 10. 报警及保护：对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； |
| 售后服务 | 电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后12小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期内免费维修设备和更换零配件；对于质保期以外设备的维护，只收取成本费；所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。1）供方派技术工程师对需方人员进行一次免费的设备安装、调试、定位、技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的；2）供方应提供详细的培训课程讲义及培训；3）安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、仪器维护、安全要点以及其他相关内容；; |
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