4inch晶圆微电镀机电镀系统辅助设备竞价结果
4inch晶圆微电镀机电镀系统辅助设备竞价结果
| 申购单主题： | 4inch晶圆微电镀机（电镀系统辅助设备） | 申购单位： | 微电子科学与技术学院 | 申购人： | 马雨飞 |
| 报价类型： | 国内含税价 | 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2024-10-09 14:12:23 |
| 申购备注： |
| 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 数量 | 售后服务 | ||
| 4inch晶圆微电镀机（电镀系统辅助设备） | 凯瑞 | 组合 | 1 | 根据行业标准提供售后服务。 | ||
| 规格 | ||||||
1. 4inch 真空润湿单元1个，型号：M-TANK-V-RINSE-04。功能：槽体配合夹具设计。德国进口瓷白 PP15mm 材料槽体，配密封上盖。槽体分上下两个独立槽体，下部为储水槽，上部为真空润湿槽。储水槽有管道与真空润润湿槽地部连接，之间配阀门。真空润湿槽内部有夹具固定位，上部有真空接口和排气口，侧面配液位显示。配隔膜真空泵，配真空检测装置。配独立电控单元。2.4inch 腐蚀活化单元1个，型号：M-TANK-ETCH-04。功能：德国进口瓷白 PP15mm 材料槽体，配密封上盖，下排液、配合夹具设计。3.4inch 溢流清洗单元1个，型号：M-TANK-RINSE-04。功能：德国进口瓷白 PP15mm 材料槽体，配密封上盖。配合夹具设计。下部有进水口，上部有溢流口。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价（元） | 初选理由 |
| 凯瑞智造（深圳）科技有限公司 | *****.0 |
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