机械工程学院磁控溅射设备采购项目竞价成交公告

招 标 正 文
 

机械工程学院磁控溅射设备采购项目竞价成交公告

东莞理工学院采用网上竞价方式开展的机械工程学院磁控溅射设备采购项目，项目编号：ZB**********，报价截止时间为2024-10-15 16:00:00。现将本项目竞价结果公布如下： 一、项目编号：ZB**********二、项目名称：机械工程学院磁控溅射设备采购项目三、项目预算：*****元四、成交信息供应商名称：沈阳鹏程真空技术有限责任公司供应商地址：沈阳市沈河区凌云街35号成交金额：*****元五、竞价成交规则在满足用户需求的前提下，按“价低者得”原则确定成交供应商。报价相同的，按参数最优者确定；报价相同且参数相同的，按报价时间先后顺序确定。六、竞价供应商报价明细及总报价
序号：1供应商名称：沈阳鹏程真空技术有限责任公司总价：*****元报价时间：2024-10-15 11:18:37
序号名称品牌/型号数量(单位)单价(元)应标技术参数
1磁控溅射腔体品牌：无 ；型号：VCT3001/套*****高真空度，多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构，尺寸Ф280mmx300mm，全不锈钢结构。可内烘 烤到100～150℃，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；腔体打开方式采用上顶开盖，使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1、RF100法兰接口：1个（观察窗口）； 2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）； 3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）； 4、RF300法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板）； 5、样品台法兰接口：1个（用来安装样品台）； 6、CF25法兰接口：1个
2真空机组品牌：无；型号：FF1501/套*****高效能泵组，稳定抽速，快速达真空，低噪音。 机组包含： 1、复合分子泵及变频控制电源：1台 2、机械泵：RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀：1台 4、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 5、CC150电动闸板阀：1台 6、DN40旁抽角阀：1台 7、压差式充气阀：1台
3加热样品台品牌：无；型号：DN1001/套*****高精度温控，均匀加热面，快速升温，稳定控温；安装尺寸为4英寸的样品可定位自传，也可实现多靶共溅射；基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C（抗氧化），由热电偶闭环反馈控制，可控可调；基片自转由调速电机驱动，0—30转/分连续可调转动速度。
序号：2供应商名称：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司总价：*****元报价时间：2024-10-15 10:27:17
序号名称品牌/型号数量(单位)单价(元)应标技术参数
1磁控溅射腔体品牌：无 ；型号：VCT3001/套*****高真空度，多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构，尺寸Ф280mmx300mm，全不锈钢结构。可内烘 烤到100～150℃，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；腔体打开方式采用上顶开盖，使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1、RF100法兰接口：1个（观察窗口）； 2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）； 3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）； 4、RF300法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板）； 5、样品台法兰接口：1个（用来安装样品台）； 6、CF25法兰接口：1个
2真空机组品牌：无；型号：FF1501/套*****高效能泵组，稳定抽速，快速达真空，低噪音。 机组包含： 1、复合分子泵及变频控制电源：1台 2、机械泵：RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀：1台 4、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 5、CC150电动闸板阀：1台 6、DN40旁抽角阀：1台 7、压差式充气阀：1台
3加热样品台品牌：无；型号：DN1001/套*****高精度温控，均匀加热面，快速升温，稳定控温；安装尺寸为4英寸的样品可定位自传，也可实现多靶共溅射；基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C（抗氧化），由热电偶闭环反馈控制，可控可调；基片自转由调速电机驱动，0—30转/分连续可调转动速度。
序号：3供应商名称：沈阳托帕科技有限公司总价：*****元报价时间：2024-10-15 10:59:56
序号名称品牌/型号数量(单位)单价(元)应标技术参数
1磁控溅射腔体品牌：无 ；型号：VCT3001/套*****高真空度，多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构，尺寸Ф280mmx300mm，全不锈钢结构。可内烘 烤到100～150℃，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；腔体打开方式采用上顶开盖，使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1、RF100法兰接口：1个（观察窗口）； 2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）； 3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）； 4、RF300法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板）； 5、样品台法兰接口：1个（用来安装样品台）； 6、CF25法兰接口：1个
2真空机组品牌：无；型号：FF1501/套*****高效能泵组，稳定抽速，快速达真空，低噪音。 机组包含： 1、复合分子泵及变频控制电源：1台 2、机械泵：RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀：1台 4、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 5、CC150电动闸板阀：1台 6、DN40旁抽角阀：1台 7、压差式充气阀：1台
3加热样品台品牌：无；型号：DN1001/套*****高精度温控，均匀加热面，快速升温，稳定控温；安装尺寸为4英寸的样品可定位自传，也可实现多靶共溅射；基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C（抗氧化），由热电偶闭环反馈控制，可控可调；基片自转由调速电机驱动，0—30转/分连续可调转动速度。
七、公告期限自本公告发布之日起1个工作日。八、合同签订成交供应商应在竞价成交公告发布之日起3个工作日内，按照竞价成交公告确定的品牌、型号、技术服务指标、价格、数量、交货期限等事项，参照校方合同模板与采购人协商合同事宜。九、其他补充事宜无十、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：聂老师地 址：东莞市松山湖大学路1号东莞理工学院联系方式：159*****3052.项目联系方式项目联系人：陈老师电 话：0769-********、0769-********

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 磁控溅射设备

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