1. 电动直线滑台， 型号uKSA50，50mm行程，三相电机,台面尺寸245*180mm，光栅尺内置,进口C3螺杆，高等级交叉滚柱导轨，闭环分辨率0.1μm，重复定位精度≤±2μm，自重8.5KG，水平负载30KG。数量：1台。2. 控制器，型号TMC-USB-1-S357，1轴，三相57步进电机，驱动器为3SR8，最高输出频率4MHZ，支持连续插补功能，任意2-3轴直线插补，任意两轴圆弧插补，脉冲输出频率误差＜0.1%。数量：1台。3. 电动升降台,50mm行程，型号PSAV50-240ZF，台面尺寸240×240mm，滚珠丝杠减速机构，4个直线轴承导轨，自重14KG，8细分分辨率0.781μm，水平负载200KG。数量：1台。4. 控制器, 型号TMC-USB-2-S257，2轴，二相57步进电机，驱动器为SR4，最高输出频率4MHZ，支持连续插补功能，任意2-3轴直线插补，任意两轴圆弧插补，脉冲输出频率误差＜0.1%。数量：1台。5. 超高精密不锈钢手动平移台，型号NFP-1462C，一维,行程25mm,台面65×65mm，分厘卡中心驱动，灵敏度≤1μm，直线度≤3μm，分厘卡最小读数0,。01mm，自重0.85KG，负载7KG。数量：2台。6. 手动旋转滑台, 型号AKR10A-120，台面直径120mm，微调范围:0～10°,交叉滚柱轴环，灵敏度≤0.49′，端跳小于30μm，自重1.5KG，负载3KG。数量：1台。7. 仪器支架，型号OTNS-40-A164，钢材，跨度4000mm，双层，仪器支架高度可调，带有脚轮，升降地脚，方便移动和固定，带4个16A插排，总负载200Kg.。数量：1台。