分标号

采购名称

数量单位

简要规格描述或项目基本概况

A分标

X射线光电子能谱仪

1套

……

1. 真空系统

1.1 分析室

1.1.1 构成μ金属制造；

1.1.2 真空度：烘烤后优于7×10^-8Pa；

……

B分标

原子层沉积系统

1套

……

1 工作条件及总体要求：

1.1 等离子体增强原子层沉积系统应包括：真空系统（真空腔、抽气系统）、反应腔、等离子体辅助沉积系统、生长源及其输运系统、压力和温度测量与控制系统、载体气体控制装置等

1.2 反应腔适用于处理最大尺寸为200mm的单片硅平面衬底，兼容处理尺寸范围内的其它平板、三维及碎片物体。可用于平板、多孔、深沟槽以及粉末样品的薄膜沉积工艺，且无需更换反应腔

……

C分标

扫描探针显微镜系统

1套

……

1. 大样品台扫描探针显微镜主机

1) 扫描主机一套

2) 高速控制器系统（Windows 7，64位软件控制系统）

3) 大范围XYZ三轴闭环扫描器（ XY ≥90um, Z≥10um）

……

项号

货物名称

数量

计量

单位

品牌

规格型号

单价（元）

1

X射线光电子能谱仪

1

套

THERMOFISHERE

ESCALABXi+

*******.00

服务要求：

1. 培训

1.1 现场培训：至少五天的现场培训；

1.2 高级应用培训：至少一周的高级应用培训；

1.3 保修期内一次高级技术研修班。

2. 保修、维修以及软件升级

2.1 期限：4年（自验收通过起）的零配件和劳务免费保修；

2.2 技术支持：用户报告故障24小时之内技术支持响应；

2.3 维修响应：不多于3个工作日之内维修工程师到达现场维修响应；

2.4 维护保养：维护保养：保修期内一年两次的专业维修工程师现场巡访；

2.5 软件升级：在不涉及硬件升级的情况下终生免费升级控制和数据处理软件；

3. 其他

3.1 线路图和装配图：公司所能提供的全部电子学线路图、真空系统图和机械系统装配图；

3.2 操作手册：中英文操作手册各一套；

3.3 手册：XPS标准谱图手册。

4. 免费送货上门，送至用户指定地点，免费由仪器制造商授权的技术人员现场安装、调试，并在用户实验室免费培训2-3名技术操作人员。所需工具、器材由中标供应商自理；各项性能指标达到技术要求的，由供需双方共同签字认可，现场验收；提供全套说明书并包括简易的中文操作说明和注意事项；

5. 出现故障2小时内做出响应，对于用户的任何投诉和要求，在24小时内作出相应的答复。一般问题应在48小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决。特殊情况无法修复的，质保期内中标供应商应无条件更换新设备或提供代用设备，或采取使设备可正常运转的措施。

项号

货物名称

数量

计量

单位

品牌

规格型号

单价（元）

1

原子层沉积系统

1

套

倍耐克

TFS200 ALD

*******

服务要求：1、免费送货上门，送至用户指定地点（确切的楼层及房间号），免费由仪器制造商授权的技术人员现场安装、调试，并在用户实验室免费培训2～3名技术操作人员。所需工具、器材由中标供应商自理；各项性能指标达到技术要求的，由供需双方共同签字认可，现场验收；提供全套说明书并包括简易的中文操作说明和注意事项；

2、收到最终用户书面的报修单后，卖方将在24小时内提供电话支持并进行故障诊断。故障诊断的处理时间一般为3个工作日内。如通过电话、邮件或者网络工具无法诊断故障，卖方将安排上门检查。

项号

货物名称

数量

计量

单位

品牌

规格型号

单价（元）

1

扫描探针显微镜系统

1

套

Bruker Nano Inc

Dimension Icon

*******

服务要求：

1、免费送货上门，送至用户指定地点（确切的楼层及房间号），免费由仪器制造商授权的技术人员现场安装、调试，并在用户实验室免费培训2～3名技术操作人员。所需工具、器材由中标供应商自理；各项性能指标达到技术要求的，由供需双方共同签字认可，现场验收；提供全套说明书并包括简易的中文操作说明和注意事项；

2、收到最终用户书面的报修单后，卖方将在24小时内提供电话支持并进行故障诊断。故障诊断的处理时间一般为3个工作日内。如通过电话、邮件或者网络工具无法诊断故障，卖方将安排上门检查。