一、合同编号： 无

二、合同名称： 多功能原子层刻蚀系统

三、项目编号： 717*****717174*****519

四、项目名称： 多功能原子层刻蚀系统—公共服务平台

五、合同主体

采购人（甲方）： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地 址： 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号中国科学院苏州纳米所

联系方式：0512-********

供应商（乙方）：北京北方华创微电子装备有限公司

地 址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

联系方式：180*****454

六、合同主要信息

主要标的名称：多功能原子层刻蚀系统

规格型号（或服务要求）：GSE S200/ALE;GDE C200;NMC 508RIE

主要标的数量：1

主要标的单价：*******.00

合同金额：800.******万元

履约期限、地点等简要信息：按合同约定执行，苏州纳米所

采购方式：公开招标

七、合同签订日期：2024-09-07

八、合同公告日期：2024-10-23

九、其他补充事宜：

附件：

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