一、采购单位：土木与交通工程学院

二、项目名称：真空镀膜系统

三、公开信息：

1.设备名称：真空镀膜系统

2.数量：1

3.关键技术指标：1) 控制采用 PLC 工控自动化系统，人机界面采用触摸屏，具有可靠性高，操作方便、直观等特点。（2) 超大观测窗，外层采用透光度 99%的亚克力板，内层采用高强度钢化玻璃，全程可视化监测。（3）内胆采用防腐防酸碱不锈钢（316L 型），四角圆弧设计，易清洁；外壳采用优质冷轧钢板，表面雾化处理，静电喷塑，防静电、不发尘，适用于芯片封装无尘车间（4） 去水烘烤和增粘（疏水）处理一机完成，无需转移，有效规避 HMDS（六甲基二硅氮烷 C6H19NSi2）泄露的危险。（5）处理更加均匀：由于它是以蒸汽的形式涂布到基片表面上，所以比液态涂布更均匀。（6）温度范围：RT+10-200℃（7） 温度波动：≤±0.5℃（8）温度分辨率：0.1℃（9） 操作：触摸屏控制、真空、涂覆、烘烤全自动操作（10） 真空度：≤80pa（11）循环方式：对流循环（12） 真空泵：VRd-8（13） 腔体尺寸：410*370*340mm（14） 外形尺寸；820*550*1280mm（15）电源电压：AC220V/50Hz（16）功率：1.65KW

4.预算金额：165,400.00元

5.拟成交供应商：安徽智微科技有限公司

6.拟成交价格：165,000.00元

土木与交通工程学院

2024年10月23日