是否接受进口

拒绝进口

品牌

三和联

型号

SHL 100-RIE

生产厂商

北京三和联科技有限公司

产地信息

北京

技术规格及参数

1、机台可是样片为四英寸片，并且兼容两英寸片以及碎片；
2、工艺腔采用铝材材质，一体成型；
3、投标设备为工艺腔顶部进气；
4、投标设备采用腔室测下方抽气的方式；
5、工艺射频电源是300W一体机，13.56MHZ，自动匹配；
6、真空系统为分子泵组；
7、工艺压力范围为0~1Torr；
8、投标设备配置5路工艺气体、一路N2吹扫气体，一路CDA；
9、投标设备工艺气体种类为O2、Ar、CF4、CHF3、SF 6，流量范围0~300sccm，使用数字通讯金属密封MFC控制气体流量；
10、投标设备基片散热采用的是水冷系统，控温范围5℃~室温，控温精度±0.5℃；
11、投标设备控制软件是基于C语言，自主研发的软件。全自动控制流程，带有recipe菜单，日志与数据记录，异常报警与处理，登录权限管理，带有用户等级管理；自动运行与工程维护界面模块；实时显示机台状态；日志管理功能，工艺过程参数记录、机台事件记录以及机台警报与异常记录，生成Log文件；动作互锁功能；工艺菜单编辑功能；机台异常处理功能；单次刻蚀，支持多步刻蚀。
12、投标设备人机交互界面采用15英寸触摸屏，位于机台操作面正上方，水平放置；
13、投标设备的刻蚀材料为二维材料、四族材料（Si、SiO2、石英、SiNx、SiC）以及有机材料（PR、PMMA、PDMS）；
14、投标设备是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），配有正版软件。

质保期

12个月

售后要求

保修期自货物验收合格之日起计算，应在保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。如货物出现损坏和故障，应在接到通知后48小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。