阵列工艺加工成交公告

阵列工艺加工成交公告

1.项目名称:MEMS阵列工艺加工

2.成交供应商名称:北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司

3.成交供应商地址:北京市海淀区双清苑1号楼一层116

4.成交金额(币种):12.500万元

5.付款方式:务完成且验收合格后10个工作日之内付合同金额100%

6.主要成交标的:

序号

服务内容

服务期限

1

单面/双面光刻,图形转移

2024.11.20-2024.12.15

2

深硅刻蚀,刻蚀深度2/8um

2024.11.20-2024.12.15

3

溅射金属 Ti/Pt/Au

2024.11.20-2024.12.15

4 阳极对准键合、KOH 减薄 2024.11.20-2024.12.15

华中科技大学机械科学与工程学院

2024年11月04日


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: EMS 工艺

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