水平刻蚀系统信息公开科研仪器设备类中标结果
水平刻蚀系统信息公开科研仪器设备类中标结果
一、采购单位：电子与信息工程学院
二、项目名称：水平刻蚀系统
三、公开信息：
1.设备名称：水平刻蚀系统
2.数量：1
3.关键技术指标：加工玻璃尺寸：515*510mm;工件厚度：0.3-1.5mm;钛刻蚀速率：30~50nm/min;
4.预算金额：180,000.00元
5.拟成交供应商：广东芯微精密半导体设备有限公司
6.拟成交价格：179,000.00元
电子与信息工程学院
2024年11月07日
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