一、电动旋转滑台（型号：SIN12-60，数量：1台）（1）行程范围：≥±6°；（2）台面尺寸：≥φ60mm，厚度：≤35mm（3）*整步分辨率：≤0.011°（4）重复定位精度≤± 0.005°（5）静态平行度：≤0.08 mm（6）轴向跳动：≤5um，径向跳动：≤10 um（7）水平负载6kg二、电动旋转滑台（型号：TBR100，数量：1台）（1）行程：360°；（2）台面：≤φ100mm；（3）负载：≥20KG；（4）重复定位精度：≤±0.005°；（5）最大速度：≥20°/s。三、电动摆动滑台（型号：GON140-80，数量：1台）（1）中心高度：≤140mm，台面尺寸：≤80*80mm，台面厚度：≤40mm;（2）行程范围：≥±3°；（3）整步分辨率：≤0.0018°；（4）重复定位精度≤ 0.001°；（5）水平负载：≥5kg；四、电动直线滑台（型号：PA050，数量：3台）（1）行程：≥50mm；（2）台面：≥120*120mm；（3）负载：≥30KG，（4）重复定位精度：≤±3μm，（5）最大速度：≤40mm/s。五、电动位移台控制器（型号：TMC-USB-4-S242，数量：1台）（1）支持4路闭环控制输出，光耦隔离（2）最高输出频率：≥4MHZ（3）*脉冲输出频率误差：＜0.1%（4）插补：任意2-3轴直线插补、任意两轴圆弧插补（5）支持运动中可实时改变速度（6）支持连续插补功能（7）支持labview二次开发