玻璃通孔湿法刻蚀机第二次第二次成交结果公告
玻璃通孔湿法刻蚀机第二次第二次成交结果公告
项目名称 | 玻璃通孔湿法刻蚀机(第二次) | 项目编号 | A-WZBX1049(第二次) |
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公告开始日期 | 173*****35000 | 公告截止日期 | 173*****00000 |
采购单位 | 厦门大学 | 付款方式 | 无 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 签约后30个工作日内 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 厦门大学翔安校区文宣楼四楼 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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玻璃通孔湿法刻蚀机 | 1 | 台 | 无 |
品牌 | 无 |
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型号 | 无 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 1.平均故障间隔时间(MTBF):>1500 hours 2.稼动率:≥90.00% 3.破片率:≤1‰ 4.平均修理时间(MTTR):<2 hours 5.采用前后槽配置,可实现半自动作业,含有机械手进行晶圆前后移动 6.槽体采用进口PVDF材质焊接而成,配置自动盖且与机械手互锁 7.温度控制采用恒温机控制,控温精度:23-25±0.5℃ 8.循环系统,配备PFA气动隔膜泵,流量:10~25L/min 9.过滤系统采用PFA/10寸过滤器,过滤精度:0.2um |
售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
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