全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机成交结果公告

招 标 正 文
 

全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机成交结果公告


成交供应商：沈阳鹏程真空技术有限责任公司

成交金额：******.0

成交理由：同意
项目名称 全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机 项目编号 XF-WSBX-*******
公告开始日期 173*****05000 公告截止日期 173*****00000
采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后5个工作日内 到货时间要求 成交后30个工作日内
预 算 ******.0
收货地址 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号浙江大学紫金港开物苑3-317
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
全自动一体式磁控溅射镀膜机 1 台 电气物理设备
品牌 无
型号 无
品牌2 无
型号 无
品牌3 无
型号 无
预算 ******.0
技术参数及配置要求 溅射室极限真空度：≤6.6x10-5 Pa；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；系统从大气开始抽气：溅射室35分钟可达到6.6x10-4 Pa；系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；3套60mm高性能永磁共焦磁控溅射靶；最大直径100mm样品；系统配有2台国产数字式500w直流电源和1台500w全自动匹配射频电源国产电源,1台国产数字式-1000V直流脉冲偏压电源；4路国产流量计MFC控制进气系统（Ar、N2、O2、CH4），流量分别为100SCCM、50SCCM、20SCCM、50SCCM；膜厚均匀性（200nm厚±5%）；加热温度：室温—600°C；基片公转由调速电机驱动，转动速度0—30转/分连续可调；磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90~130mm
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 磁控溅射 镀膜机

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