干燥塔及清洗石英烧杯等中标结果

招 标 正 文
 

干燥塔及清洗石英烧杯等中标结果

基本信息：
申购单主题：炉管清洗机,通风柜,冷水机,干燥塔及清洗石英烧杯等
申购单类型：竞价类
设备类别：电子设备
使用币种：人民币
竞价开始时间：2016-10-11 09:30
竞价结束时间：2016-10-17 10:00 竞价已结束
申购备注：竞价项目—工艺及设备辅件一、项目概述本次校内网上竞价采购项目是微电子工艺及设备辅件（炉管清洗机、通风柜、冷水机、干燥塔及清洗石英烧杯等）。其中炉管清洗机辅助扩散退火炉、LPCVD等设备完成炉管的化学清洗工作，通风柜辅助光刻机完成显影工作，冷水机辅助刻蚀机及溅射镀膜机完成系统冷却工作，干燥塔及清洗石英烧杯是必备的工艺附件。二、辅件清单2.1炉管清洗机：1台2.2 通风柜：2台2.3冷水机：2台2.4干燥塔及清洗石英烧杯等：2套
申购设备详情：

中标供应商设备名称数量单位品牌厂商型号是否标配售后服务规格配置中标单价报价说明中标理由
成都仕睿科技有限公司炉管清洗机1华林嘉业CGB-B********-A4.1 需原厂提供授权函。4.2设备质保期一年，保修期内因非人为原因造成的缺陷或损坏时，厂家负责修理和更换。3.1 炉管清洗机3.1.1清洗能力：炉管:￠230mm*2300mm ，1 Pcs/Batch；3.1.2 机台尺寸：Maximum size : 3000mm (L)× 1200 mm(W) × 2000 mm(H)（以实际图纸为准）；3.1.3 清洗液：HCL+HF、DIW、RTN2；3.1.4 制程温度：RT；3.1.5 供给及补液方式: 厂务管道（DIW、RTN2）人工手动（HCL+HF）；3.1.6 计量液位装置：建议采用进口品牌感应式液位装置，控制槽内HCL和HF的注入；3.1.7 排放方式：排放分为两路，清洗废水一路通过气动阀控制自然重力排放至厂务废水专用管道；清洗废液一路通过气动阀控制自然重力排放至机台后方储液箱（NPP 材质，支持手动排空功能）内备用；3.1.8 槽体尺寸：（参考尺寸）：2700mm(L)×330 mm(W)×300(350) mm(H)；3.1.9 槽体材质：建议德国SIMONA品牌、纯（本色）聚丙烯（NPP） 10mm 热弯/焊接组合加工；3.1.10底部注液装置：槽底配有防腐材质的 DIW(腐蚀液)喷流管，由槽体底部向上涌动浸泡清洗；3.1.11 旋转装置：槽体底部两侧设有 NPP/PVC 材质的主动轴/从动轴，旋转轴上配有耐腐蚀（防划伤石英管外壁，防止石英管打滑）氟材料的 0 型圈+封闭式步进电机+电子调速器+防腐材。180000.0最低价原则
成都仕睿科技有限公司通风柜2苏州智净ZJ-TFG-124.1 需原厂提供授权函。4.2设备质保期一年，保修期内因非人为原因造成的缺陷或损坏时，厂家负责修理和更换。3.2 通风柜3.2.1 外形尺寸：长×宽×高~1200×750×2000mm33.2.2 工作区尺寸：长×宽×高~1030×700×620mm33.2.3 重量：~160kg3.2.4 排风风速：0.3~0.6m/s（可调）3.2.5 功耗：~0.4KW3.2.6 电源：单相220V 50Hz3.2.7 排风口直径：Φ160mm3.2.8内设插座在操作员左侧，保留水槽不需要水龙头。12000.0总价最低原则
成都仕睿科技有限公司冷水机2深圳科立致信KL-2C4.1 需原厂提供授权函。4.2设备质保期一年，保修期内因非人为原因造成的缺陷或损坏时，厂家负责修理和更换。3.3 冷水机3.3.1 电源：单相220V 50Hz3.3.2 输入功率：≥2.0KW3.2.3 制冷剂：R223.2.4 制冷量：~5.5KW3.2.5 水流量：≥0.9m3/h3.2.6 外形尺寸：长×宽×高~600×600×1100mm33.2.7重量：~90kg13000.0总价最低原则
成都仕睿科技有限公司干燥塔及清洗石英烧杯等2无无按行业标准提供服务2.4 干燥塔及清洗石英烧杯等3.4.1 每套：干燥塔1个、石英玻璃清洗箱1个、带把手石英烧杯（含石英花篮）2个。3.4.2干燥塔直径：~Φ300mm3.4.3 石英玻璃清洗箱：尺寸定制、用于3英寸基片的清洗。3.4.4 带把手石英烧杯（含石英花篮）：尺寸定制、用于3英寸基片的清洗。10000.0总价最低原则

联系方式：400-838-0606

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 大学 科技 电子

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