小型磁控溅射镀膜机竞价结果
小型磁控溅射镀膜机竞价结果
| 申购单主题： | 小型磁控溅射镀膜机 | 申购单位： | 微电子科学与技术学院 | 申购人： | 马雨飞 |
| 报价类型： | 国内含税价 | 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2024-11-06 21:05:14 |
| 申购备注： |
| 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 数量 | 售后服务 | ||
| 小型磁控溅射镀膜机 | PD | 200C | 1 | |||
| 规格 | ||||||
1.真空镀膜室：304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：300*300*H300mm。2.真空系统：机械泵+脂润滑分子泵，极限真空：优于8*10-5 Pa；工作真空8*10-4pa以下，抽真空时间少于35分钟。3.真空极限：优于8*10-5 Pa。4.旋转加热基片台：承载最大直径75mm基片；基片台磁流体密封，电机驱动基片台旋转，旋转速度0-20转/分钟可调；配挡板。样品台加热温度室温-350℃。5.均匀性：75mm直径范围内不均匀性≤±5%。6.控制方式：西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制系统。7.直流溅射电源：功率500W。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价（元） | 初选理由 |
| 武汉普迪真空科技有限公司 | ******.0 |
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