冷水机独家采购公示（**********）结果公示

独家采购公示

一、采购人：信息材料与微纳器件制备平台

二、项目名称：信息材料与微纳器件制备平台套刻精度量测设备冷水机独家采购

三、采购内容：冷水机

四、采购预算：161,590元

五、独家采购的说明：

本次拟采购的冷水机（CHILLER）为信息材料与微纳器件制备平台所购买的供应商LAM Research的深硅刻蚀机配套附属冷水机设备，LAM公司指定配套冷水机型号为京仪Y-8050SCZ。深硅刻蚀设备为微纳平台关键设备，对温控精度、配套设备信号响应准确性等有较高要求，为保证深硅刻蚀设备的顺利调试及工艺后续使用，拟定以独家采购方式购买北京京仪Y-8050SCZ型号冷水机。

六、拟成交供应商信息：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

地址：北京市北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座

七、公示期限：从2024年11月19日至2024年11月25日止。

八、对本次采购提出异议，请按以下方式联系：

对公示内容有异议的，可在公告期内以有效形式提出：

联系人：孙老师

联系方式：0574-8626 1579

联系邮箱：yefeng-sun@ylab.ac.cn

投诉联系人：朱老师

投诉联系方式：0574-8628 1299

投诉联系邮箱：xinfang@ylab.ac.cn