前驱体源系统信息公开科研仪器设备类中标结果
前驱体源系统信息公开科研仪器设备类中标结果
一、采购单位：电子与信息工程学院
二、项目名称：前驱体源系统
三、公开信息：
1.设备名称：前驱体源系统
2.数量：1
3.关键技术指标：（1) 加热源1路，载气辅助源1路； （2) 加热源：配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms，阀体内置直径为1/8英寸加热器，温度范围RT-200℃)、源手动阀、不锈钢源瓶(50 mL)，源瓶温度范围RT-200℃；
4.预算金额：125,000.00元
5.拟成交供应商：江苏迈纳德微纳技术有限公司
6.拟成交价格：125,000.00元
电子与信息工程学院
2024年11月21日
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