低压等离子体清洗机自购结果公示
低压等离子体清洗机自购结果公示
| 供应商： | 华仪行（北京）科技有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | ***** |
| 公示开始日期 | 2024-11-22 | 公示截止日期 | 2024-11-23 16:26:45 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 新一代半导体材料研究院 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学中心校区半导体大楼473 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 低压等离子体清洗机 | 1 | 台 |
| 品牌 | CIF | 规格型号 | CPC-F |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1.主要应用于样品表面清洁、活化、合、去胶、金属还原、简单刻蚀、表面有机物去除、疏水实验、镀膜前处理等，免维护，无需任何耗材。 2.PLC 工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式 3.HEPA 高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染 4.7寸彩色触摸屏互动操作界面，形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。 5.双路气体控制。 6.真空压力传感器采用美国霍尼韦尔(Honeywell)。 7.气体浮子流量计采用美国德威尔(Dwyer〉，流量控制准确。 8.316 不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用 316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。 9.电容式等离子激发方式。 10.自动匹配器。 11.采用 60 度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。 12.舱体尺寸0155x200mm。 13.舱体容积 3.8L。 14.射频频率 40KHz，射频功率 0-600W无极可调: 15.时间设定 9999 秒。 16.气体稳定时间 1分钟。 17.真空度要求 100 Pa 以内。 18.电源 220V 50/60hz，电流 1.2A. 19.外形尺寸 460X580X285mm(LxW:H)，整机重量 15Kg。 20.产品通过欧盟 CE 认证、企业通过 IS*****:2008生产管理体系和售后服务体系认证。 21.真空泵抽气速率 4m"/小时，极限真空 0.05Pa，进排气连接口 KF16/25。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2024-11-22
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