激光直写成交结果公告
激光直写成交结果公告
| 项目名称 | 激光直写 | 项目编号 | HITSZWJ****** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 173*****33000 | 公告截止日期 | 173*****00000 |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 付款方式 | 合同签订后15日内预付70%，设备到货验收合格后支付30% |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后90个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 哈尔滨工业大学（深圳） | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 激光直写 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 合肥芯碁 |
|---|---|
| 型号 | *** |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 光源类型：LD375nm； 光源功率：≥2.6W； 光源寿命：≥*****小时（激光上电时间）； 能量均匀性：≥95%（功率计测试） 运动平台支持：≥8英寸； 光刻幅面：≥200mm x200mm; 写入速度：≥250mm2/min; 最小结构尺寸：0.6μm; 基板厚度：0.2～4mm; 数据格式：支持多种数据格式输入（GDS/DXF/CTF/Gerber/BMP/TIFF）; 自动对焦功能：具备； 网格精度：≥45nm; 套刻精度：±0.5um; 拼接误差：±100nm（显影后测量）； 曝光功能：支持快速、精细两种曝光模式； |
| 售后服务 | 无 |
标签: 激光直写
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