结果公示变晶格材料纳米压印加工采购结果公示项目
结果公示变晶格材料纳米压印加工采购结果公示项目
1.项目名称：变晶格材料纳米压印加工
2.项目编号：DUTCHT-*******
3.成交单位：苏州光舵微纳科技股份有限公司
4.成交金额:******.0CNY
5.公 示 期:2024年12月03日 至2024年12月05日
6.联系方式：
采购与招标中心 邮箱：cgzbdlut@dlut.edu.cn
7.采购清单：
| 序号 | 产品名称 | 服务内容 | 数 量 | 单价(元) | 金额（元） |
| 1 | 样品图案剥离 | 每完成一次纳米压印结构，进行一次样品图案剥离，共计800次。 | 800.0 | 50.0 | *****.0 |
| 2 | 硅片样品酸洗 | 样品图案剥离后，进行一次酸洗，共计800次。 | 800.0 | 75.0 | *****.0 |
| 3 | 纳米压印 | 在8寸晶圆上，通过纳米压印完成多层结构加工，加工数量为200片，每片晶圆包含4层材料，共计加工800次。 | 800.0 | 300.0 | 2*****.0 |
| 4 | 模板加工 | 依照图纸要求，完成8寸钨加热板模板、变晶格材料模板、通电电路模板及微波结构模板，共计4个模板的加工，其中变晶格材料模板、通电电路模板及微波结构模板对位要求为±2um | 4.0 | *****.0 | ******.0 |
大连理工大学
2024年12月02日
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招标
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