存储器微结构观测及分析成交公告

存储器微结构观测及分析成交公告

1.项目名称:存储器微结构观测及分析

2.成交供应商名称:泛锐云智科技(郑州)有限公司

3.成交供应商地址:河南省郑州市中原区三官庙街道华山路105号E区7栋0371-********

4.成交金额(币种):18.500万元

5.付款方式:合同签订后预付合同总金额的30%,服务完成验收合格后支付合同总金额的70%。

6.主要成交标的:

序号

服务内容

服务期限

1

透射电子显微镜测试(TEM):观察检测材料中的位错、空隙等微观缺陷,分析器件横截面,观察界面质量,确定薄膜厚度和层间界面形貌。

1.乙方合同签订后3个月内完成需求方所有开发任务和产品交付;

2.验收后,乙方提供周期1年的免费售后服务和相应的技术支持。


2

X射线衍射分析(XRD):鉴定材料晶体相,评估功能层中的应力状态以及晶粒取向,帮助优化沉积工艺。

3

X射线光电子能谱分析(XPS):确定功能层材料的化学组成及键合状态,分析界面元素扩散情况及化学态对器件性能的影响。

4

扫描电子显微镜观测(SEM):观察功能层表面微结构和粗糙度,评估薄膜质量和均匀性,确定微结构尺寸,辅助工艺优化。

5

原子力显微镜测试(AFM):获得薄膜表面粗糙度信息,优化薄膜生长条件。

华中科技大学集成电路学院

2024年12月03日


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 存储 结构 观测

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