碳化硅衬底表面缺陷测量系统成交结果公告
碳化硅衬底表面缺陷测量系统成交结果公告
| 项目名称 | 碳化硅衬底表面缺陷测量系统 | 项目编号 | 2024CGZXWSJJ0255 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 173*****39000 | 公告截止日期 | 173*****00000 |
| 采购单位 | 华侨大学 | 付款方式 | 其他 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后120个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 华侨大学(厦门校区) | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 碳化硅衬底表面缺陷测量系统 | 1 | 套 | 光电测量仪器 |
| 品牌 | 镇江锐光凯奇 |
|---|---|
| 型号 | * |
| 品牌2 | 哈尔滨芯明天 |
| 型号 | * |
| 品牌3 | 索雷博光电 |
| 型号 | * |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 设备功能：基于linnik光路结构白光干涉显微方法，配置多种照明方式，实现碳化硅衬底表面形貌和表面缺陷无损、全场测量，还可用于蓝宝石、金刚石等衬底材料。 （1）系统结构框架：多轴笼式结构框架、转接件等多个，系统相对稳定、集成度高，部分光路光学元件需具备切换拆卸功能； （2）系统照明模式：双光源照明模式，可实现切换照明和同时照明功能； （3）半复消色差物镜，数量2个，性能要求： 物镜适用范围：透射明场、透射暗场、偏光成像、荧光成像； 光学放大倍率：≥20 ×； 数值孔径：≥0.4； 工作距离：≥2 mm； （4）准直透镜#33-016，数量：4个； （5）系统光源SL073-WHI-IC：连续输出白光，寿命≥*****小时，工作电源24V； （6）二维平移台：X、Y轴行程≥100 mm； （7）Z轴扫描台：闭环，行程≥300 μm，分辨率≤15nm； （8）Tubelens：放大率1×，适用于亮场、DIC、荧光或偏光显微成像，400 - 700nm波段 超过 90% 的透射率； （9）系统安装平台：自平衡，主动隔绝外界振动对系统的影响； （10）工控机、显示屏1套，因特尔i9处理器，128G内存，2T固态，4090显卡； （11）测量输出项目：表面图像、linnik白光干涉图； |
| 售后服务 | 商品承诺:原厂全新未拆封正品;1.邮寄到指定地点；2.后续耗材采购渠道畅通；3.系统器件质保一年; |
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