多腔体等离子体增强化学气相沉积竞价结果

多腔体等离子体增强化学气相沉积竞价结果

申购单主题: 2013F448多腔体等离子体增强化学气相沉积 申购单位: 电子与信息工程学院(微电子学院) 申购人: 郑新国
报价类型: 国内含税价 使用币种: 人民币 公示时间: 2024-12-04 17:06:38
申购备注:
设备名称 品牌厂商 型号 数量 售后服务
2013F448多腔体等离子体增强化学气相沉积 牛津仪器等离子技术公司 PlasmaPro System100 1
规格
2台Alcatel ADS 602P真空泵维修和保养:1.全面拆解,超声波全面清洗并烘干2.更换原装标准维修包3.更换原装马达轴承及全新氟油4.马达线圈阻抗测量,排气阀,防倒吸阀测量及清理5.用氦质谱检漏仪测量干泵漏率 
中标供应商 单价(元) 初选理由
中山共享光电真空技术有限公司设备服务第一分公司 *****.0

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 化学气相沉积 等离子体 腔体

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