多腔体等离子体增强化学气相沉积竞价结果
多腔体等离子体增强化学气相沉积竞价结果
申购单主题: | 2013F448多腔体等离子体增强化学气相沉积 | 申购单位: | 电子与信息工程学院(微电子学院) | 申购人: | 郑新国 |
报价类型: | 国内含税价 | 使用币种: | 人民币 | 公示时间: | 2024-12-04 17:06:38 |
申购备注: |
设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 数量 | 售后服务 | ||
2013F448多腔体等离子体增强化学气相沉积 | 牛津仪器等离子技术公司 | PlasmaPro System100 | 1 | |||
规格 | ||||||
2台Alcatel ADS 602P真空泵维修和保养:1.全面拆解,超声波全面清洗并烘干2.更换原装标准维修包3.更换原装马达轴承及全新氟油4.马达线圈阻抗测量,排气阀,防倒吸阀测量及清理5.用氦质谱检漏仪测量干泵漏率 |
中标供应商 | 单价(元) | 初选理由 |
中山共享光电真空技术有限公司设备服务第一分公司 | *****.0 |
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