一、项目基本信息

1、项目编号：HKUSTGZ-24-G*****

2、项目名称：科研用电子束光刻设备备品备件采购项目

3、采购方式：定向采购

4、项目需求：科研用电子束光刻设备备品备件，详见附件。

二、申请理由及依据

1、申请理由：我校微纳系统制造中央实验室（NFF实验室）因日常科研需要，前期采购了1台电子束光刻设备（品牌：Raith），以支持亚10 nm尺寸或大面积光刻掩模版、光电器件、微电子器件等研究。为保证设备长期稳定正常运转，现须采购一批电子束光刻设备配套备品备件，以满足日常科研使用以及设备持续运转需求。

经市场调研及专家论证，因本次拟采购的产品为电子束光刻设备配套的备品备件，其设备所用的备件的质量和性能对电子束光刻机的影响非常大，原厂配套备件可以最大程度地降低由于备件或零配件不匹配而造成的设备精度损失，进而最大程度上对设备正常运行的精度要求。若使用非原厂生产的备品备件，可能会导致设备运行不稳定、设备部件损坏，严重甚至影响设备安全和性能。因此，考虑电子束光刻设备的特殊性，目前仅有设备原厂（Raith公司）专用的配套备品备件才能完全满足电子束光刻设备的日常科研和运转需求，市场上暂无其他同类型产品可以替代。

综上，本项目拟以定向采购方式向“武汉博发灵动科技有限责任公司”（Raith公司授权指定的唯一代理商）采购这一批电子束光刻设备备品备件。

2、申请依据：本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第（1）点“货物或服务只能由唯一供应商提供”的情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称：武汉博发灵动科技有限责任公司；地址：武汉东湖新技术开发区关东街道关山大道111号武汉光谷国际商务中心a栋15层10室

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人：黄老师

联系电话：020-********

联系邮箱：carinajlh@hkust-gz.edu.cn

香港科技大学（广州）采购处

2024年12月12日