化学机械抛光PVA毛刷等,5种34件号成交结果公告
化学机械抛光PVA毛刷等,5种34件号成交结果公告
项目名称 | 化学机械抛光PVA毛刷等,5种34件 | 项目编号 | SCUT-HW-JJ********号 |
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公告开始日期 | 173*****16000 | 公告截止日期 | 173*****00000 |
采购单位 | 华南理工大学招标中心 | 付款方式 | 预付 40%,剩余部分验收合格后 30 天内一次性付清,每次付款前应由乙方提供等额发票; |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后5工作日 | 到货时间要求 | 签约后30工作日 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 广州市番禺区华南理工大学国际校区 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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机械抛光气囊硅胶垫 | 10 | 个 | 涂附磨具 |
品牌 | 韩国GP |
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型号 | 4寸 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 2500.0 |
技术参数及配置要求 | 尺寸4英寸,用于nm级别去除CMP抛光过程使用 |
售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:5x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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机械抛光保持环 | 3 | 个 | 涂附磨具 |
品牌 | 韩国GP |
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型号 | 8寸 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | *****.0 |
技术参数及配置要求 | 尺寸8英寸,协助气囊胶膜固定晶圆使用 |
售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:5x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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人造金刚石薄膜材料 | 10 | 个 | 涂附磨具 |
品牌 | 科之诚 |
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型号 | 2寸 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 6000.0 |
技术参数及配置要求 | 尺寸2英寸,人造金刚石厚度大于10微米,表面粗糙度小于1nm,衬底为高阻硅晶圆材料 |
售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:5x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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化学机械抛光PVA毛刷 | 8 | 个 | 涂附磨具 |
品牌 | 韩国GP |
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型号 | TSD1203 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 6750.0 |
技术参数及配置要求 | PVA(聚乙烯醇)毛刷,通用4-12寸清洗,用于CMP后清洗清洁晶圆表面,通过刷洗的方式来清洁CMP后的晶圆表面残留的颗粒,在清洗的过程中能有效的避免引传统毛刷来带晶圆表面划伤的问题,并保证足够的洁净度。 |
售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:5x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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人造蓝宝石衬底材料 | 3 | 个 | 涂附磨具 |
品牌 | 英诺天成 |
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型号 | 4寸 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 9300.0 |
技术参数及配置要求 | 尺寸4英寸,蓝宝石衬底厚度650微米,晶向0001,表面覆盖薄膜AlScN,HRXRD半高宽不大于120 arc @(0002);厚度为800 nm/600 nm/400 nm,Sc比例为40at%,表面粗糙度不超过10 nm, |
售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:5x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
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