硅基FET芯片微量掺杂分析成交公告
硅基FET芯片微量掺杂分析成交公告
1.项目名称：硅基FET芯片微量掺杂分析
2.成交供应商名称：湖北九峰山实验室
3.成交供应商地址：武汉市东湖高新技术开发区九龙湖街9号
4.成交金额(币种)：15.3912万元
5.付款方式：服务完成且验收合格后15个工作日内支付合同金额100%
6.主要成交标的：
序号 | 服务内容 | 服务期限 |
1 | 动态二次离子质谱分析（DSIMS），提供硅基FET芯片中纳米尺度单层或多层薄膜微量掺杂杂质浓度、深度分布及界面分析，数量22unit。 | 合同签订后10个工作日内 |
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华中科技大学集成电路学院
2024年12月17日
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