上海新微技术研发中心有限公司8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标中标公告

上海新微技术研发中心有限公司8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标中标公告


公告概要:
公告信息:
采购项目名称8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标
品目

货物/通用设备/仪器仪表/试验机/工艺试验机,货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备

采购单位上海新微技术研发中心有限公司
行政区域嘉定区公告时间2017年01月22日09:05
本项目招标公告日期2016年12月23日中标日期2017年01月20日
评审专家名单杨维垣、毛妞、叶军安、赵振宇、王晓龙
总中标金额¥8435.202 万元(人民币)
联系人及联系方式:
项目联系人张靖姝
项目联系电话********-***
采购单位上海新微技术研发中心有限公司
采购单位地址上海市嘉定区城北路235号3号楼
采购单位联系方式游家杰、周曙华,********×8654、2153
代理机构名称上海国际招标有限公司
代理机构地址中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
代理机构联系方式张靖姝、王晋,62791919×198、161
附件:
附件1评标结果公示公告.pdf

  上海国际招标有限公司受上海新微技术研发中心有限公司的委托,就8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标项目(项目编号:****-********4104)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:

一、项目信息

项目编号:****-********4104

项目名称:8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标

项目联系人:张靖姝

联系方式:********-***

二、采购单位信息

采购单位名称:上海新微技术研发中心有限公司

采购单位地址:上海市嘉定区城北路235号3号楼

采购单位联系方式:游家杰、周曙华,********×8654、2153

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:

(1)项目用途:8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目。

(2)简要技术要求:

品目号

货物名称

简要技术说明

1

Un-dope Poly Furnace

低压条件下,生成非掺杂多晶硅。

2

Thermal OX Furnace

常压条件下,进行气体反应,生成高温氧化膜

3

LP LTO Furnace

低压条件下,进行气体反应,生成低温氧化膜

4

LP TEOS Furnace

低压条件下,进行气体反应,生成高温氧化膜

5

LP SIN Furnace

低压条件下,进行气体反应,生成氮化硅

6

Low Stress Poly Furnace

低压条件下,生成非掺杂的低应力多晶硅

7

Drive in Furnace

常压条件下,高温推进

8

Anneal Furnace

常压条件下,高温退火

9

Alloy Furnace

低压条件下,低温合金

10

Photoresist Strip

清洁和去除刻蚀后晶圆片表面的光刻胶

11

Photoresist Descum

对晶圆片的光刻胶表面进行处理,去除曝光区局部光阻残留

12

Backside wet etch clean

利用化学品对单片晶圆片进行背面清洗

13

COT and DEV

匀胶、烘烤、显影

14

IL Step Exposure

I线曝光,用于线宽大于0.35um的工艺

15

CD-Measurement

对8寸晶圆片的关键尺寸进行测量

16

Single Wafer Scrubber

利用刷头、Jet或AS对单片晶圆片进行清洗,减少颗粒度及粘污

(3)合同履行期:2017年4月10日前交货

四、采购代理机构信息

采购代理机构全称:上海国际招标有限公司

采购代理机构地址:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

采购代理机构联系方式:张靖姝、王晋,62791919×198、161

五、中标信息

招标公告日期:2016年12月23日

中标日期:2017年01月20日

总中标金额:8435.202 万元(人民币)

中标供应商名称、联系地址及中标金额:

序号中标供应商名称中标供应商联系地址中标金额(万元)
1靖洋科技股份有限公司中国台湾新竹县竹北市保泰三路80号8435.202

评审专家名单:

杨维垣、毛妞、叶军安、赵振宇、王晓龙

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:

(1)中标标的:炉管等工艺设备

(2)规格型号:ALPHA-8SE等

(3)数量:1批

(4)单价:USD 12,200,000.00

(5)服务要求:设备供货及相关伴随服务

六、其它补充事宜

(1)本项目的中标金额为USD 12,200,000.00。

(2)本项目的评标结果已在中国国际招标网(网址为:http://chinabidding.com)上发布,如投标人或其他利害关系人对公示的评标结果有异议请在公示期内按有关规定提出。


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 国际招标 工艺设备 炉管

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