上海新微技术研发中心有限公司8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标中标公告
上海新微技术研发中心有限公司8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标中标公告
公告信息: | |||
采购项目名称 | 8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标 | ||
品目 | 货物/通用设备/仪器仪表/试验机/工艺试验机,货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备 | ||
采购单位 | 上海新微技术研发中心有限公司 | ||
行政区域 | 嘉定区 | 公告时间 | 2017年01月22日09:05 |
本项目招标公告日期 | 2016年12月23日 | 中标日期 | 2017年01月20日 |
评审专家名单 | 杨维垣、毛妞、叶军安、赵振宇、王晓龙 | ||
总中标金额 | ¥8435.202 万元(人民币) | ||
联系人及联系方式: | |||
项目联系人 | 张靖姝 | ||
项目联系电话 | ********-*** | ||
采购单位 | 上海新微技术研发中心有限公司 | ||
采购单位地址 | 上海市嘉定区城北路235号3号楼 | ||
采购单位联系方式 | 游家杰、周曙华,********×8654、2153 | ||
代理机构名称 | 上海国际招标有限公司 | ||
代理机构地址 | 中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼 | ||
代理机构联系方式 | 张靖姝、王晋,62791919×198、161 | ||
附件: | |||
附件1 | 评标结果公示公告.pdf |
上海国际招标有限公司受上海新微技术研发中心有限公司的委托,就8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标项目(项目编号:****-********4104)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:
一、项目信息
项目编号:****-********4104
项目名称:8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目炉管等工艺设备采购国际招标
项目联系人:张靖姝
联系方式:********-***
二、采购单位信息
采购单位名称:上海新微技术研发中心有限公司
采购单位地址:上海市嘉定区城北路235号3号楼
采购单位联系方式:游家杰、周曙华,********×8654、2153
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
(1)项目用途:8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目。
(2)简要技术要求:
品目号 | 货物名称 | 简要技术说明 |
---|---|---|
1 | Un-dope Poly Furnace | 低压条件下,生成非掺杂多晶硅。 |
2 | Thermal OX Furnace | 常压条件下,进行气体反应,生成高温氧化膜 |
3 | LP LTO Furnace | 低压条件下,进行气体反应,生成低温氧化膜 |
4 | LP TEOS Furnace | 低压条件下,进行气体反应,生成高温氧化膜 |
5 | LP SIN Furnace | 低压条件下,进行气体反应,生成氮化硅 |
6 | Low Stress Poly Furnace | 低压条件下,生成非掺杂的低应力多晶硅 |
7 | Drive in Furnace | 常压条件下,高温推进 |
8 | Anneal Furnace | 常压条件下,高温退火 |
9 | Alloy Furnace | 低压条件下,低温合金 |
10 | Photoresist Strip | 清洁和去除刻蚀后晶圆片表面的光刻胶 |
11 | Photoresist Descum | 对晶圆片的光刻胶表面进行处理,去除曝光区局部光阻残留 |
12 | Backside wet etch clean | 利用化学品对单片晶圆片进行背面清洗 |
13 | COT and DEV | 匀胶、烘烤、显影 |
14 | IL Step Exposure | I线曝光,用于线宽大于0.35um的工艺 |
15 | CD-Measurement | 对8寸晶圆片的关键尺寸进行测量 |
16 | Single Wafer Scrubber | 利用刷头、Jet或AS对单片晶圆片进行清洗,减少颗粒度及粘污 |
(3)合同履行期:2017年4月10日前交货
四、采购代理机构信息
采购代理机构全称:上海国际招标有限公司
采购代理机构地址:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
采购代理机构联系方式:张靖姝、王晋,62791919×198、161
五、中标信息
招标公告日期:2016年12月23日
中标日期:2017年01月20日
总中标金额:
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
序号 | 中标供应商名称 | 中标供应商联系地址 | 中标金额(万元) |
1 | 靖洋科技股份有限公司 | 中国台湾新竹县竹北市保泰三路80号 | 8435.202 |
评审专家名单:
杨维垣、毛妞、叶军安、赵振宇、王晓龙
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
(1)中标标的:炉管等工艺设备
(2)规格型号:ALPHA-8SE等
(3)数量:1批
(4)单价:USD 12,200,000.00
(5)服务要求:设备供货及相关伴随服务
六、其它补充事宜
(1)本项目的中标金额为USD 12,200,000.00。
(2)本项目的评标结果已在中国国际招标网(网址为:http://chinabidding.com)上发布,如投标人或其他利害关系人对公示的评标结果有异议请在公示期内按有关规定提出。
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