货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表

采购用途：用于电子科技大学教学科研建设。

简要技术要求：

第一包 激光分子束外延系统（LMBE）

一、主要技术参数与要求

（1）主腔体：

1. 腔体材料采用优质304不锈钢，全金属密封连接，腔体直径16英寸（圆柱形设计）；

2. 观察窗采取保护措施（加装含铅玻璃）以防止辐射，腔体预留仪器升级窗口；

★3. 真空系统采用分子泵（Hipace700），分子泵需配有数据接口以实现软件控制，抽速为700L/s，并配合使用涡旋式干泵（dry pump，减少返油污染），抽速5.4 m3/hr，本底真空度优于5×10-9 mbar（烘烤后）。分子泵与腔体之间采用软连接（配有Damper），以减小分子泵震动对RHEED的影响。

4. 主腔体配备两套不同的真空计，一套真空计，量程5×10-10 mbar 到1 bar，用于测量真空度；

★5. 另外配置一套精确的真空计，量程10-4 到 1 mbar，专门用于精确控制生长时的工艺压力；

★6. 腔体可以与XPS系统连接：腔体上保留窗口，尺寸需与XPS腔体兼容，并可顺利通过Omicron型样品托；样品架可调整，保证样品托可对准XPS腔体。

等。

合同履行日期：合同签订后8个月。

成交标的名称：激光分子束外延系统。

规格型号：激光分子束外延系统。

数量：1台。

单价：51.4万美元，按评标当日汇率USD1=CNY6.6369折合人民币：341.14万元。。

服务要求：保修期1年，自验收合格之日起计算，保修期内卖方提供免费的维护和技术服务，仪器出现故障要求24小时响应，3个工作日内到现场维修；保修期外，卖方应保证以优惠的价格为用户提供足量的零配件，工程师提供现场维修服务的只收取成本费用以及服务费。